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    FlatMaster MSP150系列平面度測量儀

    • 更新時間:2020-10-26
    • 瀏覽次數:326

    FlatMaster MSP150系列平面度測量儀
    Tropel FlatMaster MSP 150可以測量直徑為150mm的各類晶體材料(藍寶石,碳化硅,砷化鎵,玻璃等)的平面度、厚度和厚度公差,對3DIC集成非常重要。傳統的接觸式測量儀或者普通干涉儀在應對大尺寸晶片時存在測量速度過慢或者沒有足夠測量精度的缺點。

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    應用領域電子,交通,冶金,航天,汽車

     FlatMaster MSP150系列平面度測量儀

     

    程度和等級差異! 全表面高速測量:
    除了平坦度,還可以測量平行度和階躍。 可以在大約60秒內獲取并分析樣品表面上多達780,000個點的數據。 抵抗外部影響,例如溫度和振動,可以進行穩定且高度準確的測量。

    精度小于0.1μm! NIST可追溯:
    Tropel的平面度測量機不僅保證了重復性,而且還保證了所有產品系列中校準原型的測量精度(校準精度)。 符合美國國家標準技術研究所/ NIST的校準標準也包括在內,因此您每天可以通過檢查準確性來放心地進行測量。

    適用于從粗糙表面到鏡面:
    特別的條紋掃描方法不僅支持鏡面,而且還支持難以反射的切割面和切割面。 可用于從粗糙到鏡面的廣泛工作。

    高精度高度測量的加工過程評估:
    可以獲取整個表面上多達780,000個點的高度數據作為值,因此可以高精度地測量高度。 因此,可用于評估加工過程,例如通過比較加工前后的滿量程數據來分析拋光量分布。

    Tropel FlatMaster MSP 150可以測量直徑為150mm的各類晶體材料(藍寶石,碳化硅,砷化鎵,玻璃等)的平面度、厚度和厚度公差,對3DIC集成非常重要。傳統的接觸式測量儀或者普通干涉儀在應對大尺寸晶片時存在測量速度過慢或者沒有足夠測量精度的缺點。Tropel MSP150采用先進的步進式激光源可以快速、準確的測星150mm直徑的晶片。在很短的時間內測星整個平面并收集超過300萬點數據,構造真實三維立體圖形。高精度、快速、高重復性、全面測量的Tropel FlatMaster MSP150是業界其他測量設備的沒有的優勢。

    儀器型號

    FlatMaster MSP40

    FlatMaster MSP150

    FlatMaster MSP300

    測量原理

    入射式掃描干涉

    尺寸

    ~φ40mm

    ~φ150mm

    ~φ300mm

    *大測量高度

    40mm

    60mm

    300mm

    測量波長

    830nm  AlGaAs半導體激光器

    測量數據數

    *大約78萬點

    *大約400萬點

    測量分辨率

    0.01μm

    測量精度(Accuracy)

    平面度

    0.060μm

    平行度

    0.100μm

    深度

    0.250μm

    重復精度(Repeatability)

    平面度

    0.02μm

    平行度

    0.025μm

    深度0.100μm

    測量時間

    從樣品設置到分析約60秒

     

    篤摯儀器(上海)有限公司為您提供“FlatMaster MSP150系列平面度測量儀”的產品信息,價格貨期等,我司致力于長度計量儀器,光學儀器、形狀類儀器,材料檢測儀器,涂裝與表面處理檢測儀器的銷售與維護服務。本公司有專業銷售和技術人員,為客戶提供方信守合同便,快捷的售前(演示設備、介紹新技術)售中(為客戶選型、滿足客戶要求),售后服務(設備維護、保養問題)在客戶需要的時候,我們的專業人員能夠即來到客戶現場,提供急需的服務。

     

     

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