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      ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire™激光干涉儀 繼承了工業標準GPI™激光干涉儀系列的所有優點,融合了機械相移技術、創造性的數據采集技術、高性能的光電成像系統、振動補償軟件、非球面測量技術和波紋抑制技術等,是ZYGO技術的集中體現。所有VeriFire™系列產品都能提供標準的干涉測量,每種型號均具有特殊的應用。
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